parylene真空镀膜工厂-parylene-菱威纳米

涂敷过程在真空下进行，称它为蒸汽沉积聚合（vdp），作为一种涂敷技术，vdp提供了---的---性，明显要由于刷涂，parylene镀膜工厂，浸涂，喷涂等其它涂敷技术。它的---性主要来源于它是由气相单体直接形成固体涂层而没有一个液态的中间过度阶段。因此在传统方法中由于表面张力而引起的从棱刃处流淌到低的沟槽里积料的现象它不会发生。parylene涂层是从基材的表面向外“生长”，形成一个均匀厚度的敷形涂层，好多试验证明这种涂敷处理涂层厚度在1微米以下时也是无的。

自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器，用很薄的parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性。使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、---和---以及辐射环境等。由于很薄的parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护，对传感器的灵敏度影响很小。国外已有四千万种以上各种传感器用parylene防护，可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器。其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学用传感器等。经parylene封装的cmos器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用parylene封装防护甚至还可以开发能够在液氮中使用的微电子器件。