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磁性拉伸式测厚仪用到的主要是一个磁铁、校准弹簧以及一把刻度尺。磁铁与磁性钢基体之间的吸引力会把这两者拉在一起,随着分离两者的涂层厚度增加,磁铁变得容易拉出。
因此,parylene 耐温,涂层厚度主要就是根据这种拉拔力来测量确定。较薄的涂层一般具有的磁引力,parylene 防水,而较厚的薄膜涂层则具有相对较小的磁引力。磁性拉伸式测厚仪对于测量样品的表面粗糙度、曲率、基底厚度以及金属合金的组成成分非常敏感。

采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制---的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。

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