









首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层c在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,梅州水表防水镀膜,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(parylene)涂层微通道。通过控制(parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,水表防水镀膜加工,并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,水表防水镀膜哪里有,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。

派瑞林(parylene)材料本身的阻挡特性远优于其它高分子涂层,作为一种阻挡层可有效地防止各种阴阳离子的扩散迁移,从而---地保护产品;派瑞林(parylene)涂层工艺有效阻止了离子在涂层和产品基板界面的扩散,---减少了常见的涂层内腐蚀。
派瑞林(parylene)材料作为涂层,派瑞林(parylene)超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与人体组织及---相容等一系列优点,使其在生物医学领域应用广泛, parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层,可有效防止外界的化学品、水分和---的侵蚀,同时增加了器件表面的干润滑性和绝绿性能。

钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子,智能水表镀膜防水,工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀,因此必须有一个的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。
parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。

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