镀灯具铝膜。因为是金属膜,当然是直流磁控溅射好。速度快。中频适合镀化合物膜。如果选离子源,霍尔离子源就够了。但要注意灯具大小。一般霍尔离子源是圆形,离子源覆盖的面积有限。你一定要用离子束将工件全部覆盖到。若普通霍尔离子源太小,可考虑用阳极层离子源。离子源难起辉的一个原因是磁场太弱激发不起等离子体。离子源的种类虽多,但基本上是先产生等离子体,然后从等离子体中抽出气体离子并加速成离子束,让后视需要注入电子中和离子流。
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体,让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强,离子能量带宽集中,防腐镀膜,可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极(往往是钨丝)在反应气体中很快就烧掉了,另外就是离子流量有---,对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
派瑞林(parylene)可以增加铁氧体等磁性材料的介电性及耐高压性能,可以克服普通环氧树脂喷涂等其他涂层工艺处理后不耐磨,不耐酸碱等方面的---缺陷。其工艺特点:派瑞林(parylene)涂层物料经蒸发室汽化后进入裂解室后裂解为气体,气体进入沉积室,通过沉积室,即物体表面均匀包覆所述派瑞林层。派瑞林(parylene)真空气相沉积工艺和磁体覆膜工艺,镀膜,降低磁体表面的氧化能力,马达风扇镀膜,提高磁体的抗蚀性,相比电镀磁体工艺,该镀膜工艺使磁通损失率降低至现有覆膜工艺的50%,且降低了毛坯生产的成本。从而降低企业生产成本,提高产品性能。
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