磁芯parylene涂覆工艺-菱威纳米(商家)

       密封树脂以多种不同的化学类型出现，包括环氧树脂、聚氨酯和硅树脂。通常，环氧树脂在机械影响方面提供更坚固的保护，但是它们没有其它化学品的柔性，这可能导致热循环期间的问题。此外，标准环氧树脂系统不能提供其他系统的清晰度和颜色稳定性。

       树脂确实有的透明度，并且在温度下表现---，而聚氨酯树脂在---环境中提供---的柔韧性、透明度和高水平的保护。我们做了实验得出：三种树脂化学类型在暴露在紫外线1000小时后，通过检查树脂的颜色差异，三种树脂化学类型的透明度差异，从而---了每种树脂在室外条件下的稳定性。硅树脂和聚氨酯树脂显然优于标准环氧树脂体系。

       派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜， 当有流体顺流时， 派瑞林涂层薄膜抬起， 允许流体通过; 当有流体逆时，派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kpa， 逆流的制止压力达600 kpa以上，肇庆parylene， 同时具有较低的反向泄漏，锂电池parylene涂层， 性能---。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量， 产生了较大的变形， 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀， 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 c制成的，磁芯parylene涂覆工艺， 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心， 由于---压强使子腔压缩到底部， 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力， 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kpa， 在逆流压力为270 kpa也不会出现可见的泄露现象。



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