制作弹簧绝缘-菱威纳米-弹簧绝缘

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    2020-8-18

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mems集成装置以及其他多层线路装置应用中

在mems集成装置以及其他多层线路装置应用中,像座舱、发动机---、控制系统,热稳定是很关键的。所发现的一个好的例子是涂覆了派瑞林的工业级传感器。这使得传感器可以达到工业级标准以及标准需求的设计和功能。 在非控条件下像飞机机翼及尾翼应用中的快速变化经常对标准线路板组件是很不利的。采用派瑞林涂层对其进行保护,可以使同样的线路板组件在还平面变化到所有操作高度时正常运作。 派瑞林涂层具有低的介电常量和耗散因子,可以使其具有信号保真功能,这些特性在应用的电及光纤互联系统中很有价值,尤其是在装备雷达系统以及其他防止失真应用中。 随着led在飞机照明应用中的增加,派瑞林提供的长期紫外防护,这将适用于导航灯,舱灯或起落架灯使用的任何cost部件,这种涂层对增强光感窗以及辐射探测器使用的部件寿命也是很有价值的。


薄膜的生长可分为那些过程

    a、初级反应:在非平衡等离子体中,电子与反应气体发生反应,反应气体发生分解,形成离子和活性基团的混合物;

  b、次级反应:活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运,弹簧绝缘,同时各反应物间发生反应;

  c、反应:初级与次级反应产物被吸附并与表面发生反应,制作弹簧绝缘,同时有气相分子物放出。



  等离子体增强化学气相沉积(pecvd)的主要优点是沉积温度低,对基体的结构和物理性质影响小;膜的厚度及成分均匀性好;膜组织致密、少;膜层的附着力强;应用范围广,可制备各种金属膜、非晶无机膜和有机膜。尽管有许多优点,弹簧绝缘处理,但仍存在不足,一是经济成本,弹簧绝缘公司,二是技术成熟度。在技术上,等离子体增强化学气相沉积无论是反应装置还是工艺都有待改进和完善。




parylene是一种优良的三防材料,其保护作用胜过有机硅树脂,环氧树脂和聚氨脂。以前,磁心一般采用普通的环氧树脂进行表面的加工处理。而随着磁性材料小(微)型化、精密化发展的需要,对磁性材料表面处理的要求越来越高,透明涂覆(parylene coating)技术正符合了这一趋势。现在,在磁性材料表面涂覆parylene真镀膜已经成为一种趋势,---是6以下的小型磁性材料。相对于普通的表面处理,该技术所产生的膜层薄却具有耐压高、表面润滑、耐腐蚀性等的---特点,尤其是其涂层可控制在1微米至20微米的厚度,这种超薄的膜层优势满足了目---些品质要求高的且微型(如高磁导率磁心等)磁性材料产品的表面加工处理需要。parylene-c(parylene-n)涂装材料和生产技术,符合rohs要求(parylene coating)技术还广泛应用于精密pcb板、微型马达铁心、硬磁体、硅橡胶等产品的涂覆加工处理。    


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