人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点，但缺点是需要接触到的基底面。
接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的，真空镀膜涂料，并且它们通常不------确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此，利用该方法必须进行两次测量，一次是在含有涂层的表面上进行测量，另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值，也即是测量的高度差，就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上，该方法一般在较高处测量涂层的厚度。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，塑料真空镀膜，然后沉积派瑞林涂层c在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，纳米真空镀膜，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（parylene）涂层微通道。通过控制（parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，台山真空镀膜，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。
派瑞林真空镀膜（cvd）技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要突破。随着制造业高速发展，真空镀膜技术应用越来越广泛。从pcba电路板、led、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空镀膜（cvd）设备、技术、材料需求都在不断增加，包括制造---集成电路的防护膜；数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜；充分展示和应用各种光学特性的光学膜；计算机显示用的感光膜；tft、pdp平面显示器上的导电膜和增透膜；建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜；包装领域用防护膜、阻隔膜；装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜；工、模具表面上应用的耐磨超硬膜；纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等。
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